Produktoversikt
Grade 2 Titanium Sputtering Targets are manufactured from commercial pure titanium (>= 99.95% purity) via vakuumsmelting og presisjon termo-mekanisk prosessering. Disse målene er designet for DC- og RF-magnetronforstøvningssystemer, og leverer ensartet tynn-filmavsetning med kontrollert kornstruktur, som minimerer partikkelgenerering og buedannelse under belegningssykluser. Tilgjengelig i plane (sirkulære, rektangulære) og roterende konfigurasjoner for industrielle PVD-linjer.
Tekniske spesifikasjoner
|
Parameter |
Standard spesifikasjon |
Tilknyttede ingeniørressurser |
|
Materialkvalitet |
ASTM Grade 2 / UNS R50400 (Commercial Pure Titanium) |
|
|
Renhet |
>= 99.95% (3N5) |
Materialsertifiseringsdata |
|
Tetthet |
>= 4.51 g/cm³ (Theoretical density >= 99.2%) |
Archimedes testrapport |
|
Gjennomsnittlig kornstørrelse |
< 100 um (Fine, uniform microstructure) |
Metallografisk analyseprøve |
|
Tilgjengelige former |
Plan (plate, rektangulær, segment), roterende (sylindrisk) |
Egendefinert konfigurasjonsark |
|
Dimensjoner |
Diameter opp til 400 mm; Lengde opptil 3000 mm for roterende; Tilpassede tykkelser tilgjengelig |
Toleranser og maskineringsgrenser |
|
Overflatefinish |
Ra<= 0.8 um (machined or polished) |
Inspeksjonsdatablad |
|
Bindingsalternativer |
Indiumbinding, Cu-støtteplatelodding (OFHC kobber) |
Retningslinjer for termisk grensesnitt |
Nøkkelfunksjoner
Fin mikrostruktur:Kontrollerte varme-valsings- og utglødningsparametere produserer en homogen, fin-matrise som sikrer stabile avsetningshastigheter og forutsigbar målutnyttelse.
Lite gassforurensninger:Vakuumelektronstrålesmelting minimerer interstitielle elementer (oksygen, nitrogen, hydrogen, karbon, jern), og reduserer mikro-buedannelse og inklusjonsdefekter i den avsatte filmen.
Høy termisk og elektrisk ledningsevne:Opprettholder stabil elektrisk impedans under høy-magnetronforstøvningsforhold.
Nøyaktig dimensjonstoleranse:CNC-maskinerte kanter og monteringshull sikrer sømløs installasjon i standard og tilpassede katodesammenstillinger.
Søknader
Arkitekt- og bilglass:Glassbelegg med lav-E (lav-emissivitet) og solcellekontrollerende vindusfilm.
Dekorative og harde belegg:PVD-tynne filmer for sanitærutstyr, dørbeslag, urkasser og forbrukerelektronikk som krever slitestyrke og metallisk finish.
Halvleder og mikroelektronikk:Diffusjonsbarrierer, kontaktlag og frølag i ikke-kritisk IC-emballasje og diskret enhetsproduksjon.
Optiske skjermer:Ledende eller reflekterende lag for flate-skjermer og berøringsskjermer.
Tilpasning og produksjon
Produksjonsmuligheter:Styres via vakuuminduksjonssmelting (VIM), smiing, flerretningsvalsing og vakuumglødingslinjer. Intern prosessering tillater streng kontroll over urenhetssegregering og kornvekst.
Egendefinerte geometrier:Produksjonen tilpasser seg ikke-standard rektangulære dimensjoner, avtrappede kanter, komplekse kjølekanalkonfigurasjoner og direkte binding til OFHC kobber- eller aluminiumsplater ved bruk av indium eller elastomere loddelegeringer.
Prototype til produksjon:Skalering støtter enkelt-FoU-utprøvinger til fler-tonn planlagte batchforsendelser for industrielle malingslinjer.
Kvalitetskontroll og sertifiseringer
Analytisk testing:Hvert produksjonsparti gjennomgår kjemisk sammensetningsanalyse via Glow Discharge Mass Spectrometry (GDMS) eller ICP-OES. Tettheten verifiseres ved hjelp av Archimedes' dreneringsmetode.
Mikrostrukturell inspeksjon:Metallografisk undersøkelse bekrefter kornstørrelsesfordeling og fasehomogenitet. Overflate- og undergrunnsintegritet kontrolleres ved hjelp av ultralydtesting (UT) for mål som overskrider kritiske tykkelsesterskler.
Sporbarhet:Hvert mål sendes med et individuelt analysesertifikat (CoA) som registrerer faktisk renhet, urenhetsnivåer (ppm), tetthet og dimensjonale inspeksjonsposter.
Kvalitetsstandard:Produsert under ISO 9001 sertifiserte operasjonsprosedyrer.
Emballasje og levering
Overholdelse av beskyttende emballasje og transitt:Individuelt vakuum-forseglet i polyetylenposer med fuktighet-absorberende tørkemiddel, innelukket i EVA-skum-forede trekasser med høy-tetthet. Emballasjeprotokoller er konstruert og testet for å tåle langdistanse-internasjonal transport til sjøs og luftfrakt, og forhindrer overflateoksidasjon, kantskader eller støtskader.
Logistikk og tollstøtte:Globale forsendelser inkluderer full samsvarsdokumentasjon (Mill Test Certificates, kommersielle fakturaer, pakkelister og eksportsamsvarsskjemaer). Standard ledetider varierer fra 2 til 4 uker avhengig av dimensjoner og limingskrav.
FAQ
Spørsmål: Hva er det nøyaktige renhetsnivået til dine Grade 2 Titanium-mål?
A: Standard renhet er 99,95 % (3N5). Spesifikke urenhetsgrenser for jern (Fe), oksygen (O), karbon (C), nitrogen (N) og hydrogen (H) er strengt i samsvar med ASTM B348 Grad 2 kjemigrenser, med individuelle lotverdier beskrevet i det medfølgende analysesertifikatet.
Spørsmål: Hvordan forhindrer du buedannelse under høy-forstøvning?
A: Target density (>= 99.2%) og finkornstørrelse (< 100 um) eliminate micro-voids and segregation zones. This structural uniformity prevents localized charge accumulation and sudden gas release, minimizing particle generation and DC/RF arcing.
Spørsmål: Kan du levere mål festet til støtteplater?
A: Ja. Plane mål kan være indium-bundet eller loddet på oksygen-Free High-Conductivity (OFHC) kobber eller aluminium bakplater, skreddersydd for spesifikke katodekjølingsdesign og effekttettheter.
Spørsmål: Hva er den typiske ledetiden for rektangulære mål i tilpasset-størrelse?
Svar: Standard fabrikasjon og kvalitetsverifisering krever 15 til 25 virkedager for tilpassede dimensjoner eller sammensatte konfigurasjoner. Lagerråvarer tillater rask behandling for standard plane skiver.
Spørsmål: Leverer du materialtestrapporter med hver forsendelse?
A: Hver batch inkluderer et fullstendig analysesertifikat (CoA) som bekrefter kjemisk sammensetning, tetthet, hardhet og ultralyd NDT-inspeksjonsresultater der det er aktuelt.
Spørsmål: Hva er minimumsbestillingskvantiteten (MOQ) for ikke-standarddimensjoner?
A: MOQ avhenger av materialutnyttelse under skjæring og smiing. For standard lagerstørrelser aksepteres enkelt-prototypebestillinger; for tilpassede legeringsmodifikasjoner eller unike geometrier gjelder batchminimum.
Be om et tilbud
Spesifiser nødvendige dimensjoner, renhet, form (plan/roterende), mengde og målbindingskrav for å motta et teknisk tilbud, materialleveringstid og tekniske tegninger.
Nødvendige tilbudsforespørseldetaljer:Målgeometri og dimensjoner, mengde, støtteplatekrav (hvis aktuelt), målapplikasjon / sputtersystem, CAD/tegningsvedlegg (valgfritt for DFM-gjennomgang).
Populære tags: klasse 2 titan sputtering mål, Kina grad 2 titan sputtering mål produsenter, leverandører, fabrikk